净化工程

净化工程是指控制产品(如硅芯片等)与大气接触的洁净度和温湿度，使产品能够在良好的环境空间中生产、制造。这种环境空间的设计和施工过程可以称之为净化工程。

的原则

动荡的洁净室

紊流洁净室的主要特点是改变了气流与气流之间的气流段(从送风口到回风口)。洁净室截面比送风口截面要大得多，因此不能在整个房间截面或在整个房间工作区截面内形成均匀流动。因此，送风口后的流线相互之间夹角较大或增大，曲率半径较小。气流在室内不能单向流动，会相互碰撞，产生回流和漩涡。这就决定了紊流洁净室的流动状态为:突流;非均匀流。

这是对紊流洁净室比紊流更为准确全面的描述。湍流主要取决于雷诺数,这主要是受流量影响,但如果部送风的形式从个高效微粒空气过滤器,上面所有的结果将产生即使在非常低的流速,因为它是个突然流和非均匀流。因此，在这种情况下，不仅有湍流造成的流动层之间的混合，也有大回流和涡在整个腔室中造成的混合。

单向流动无尘室

单向洁净室有两种类型，即水平流和垂直流。在水平流动系统中，空气从面墙流向另面墙。在垂直流动系统中，空气从天花板流向地面。当洁净室内需要较低浓度的悬浮颗粒或微生物时，使用单向气流。这种类型的洁净室以前被称为“层流”洁净室。单向流和层流描述的是空气的流动:气流沿个方向流动(垂直或水平方向)，以平均速度流过空间，通常为0.3米/秒到0.5米/秒(60英尺/分钟到100英尺/分钟)。空气由洁净室天花板上的高效过滤器送风。空气流动，就像个空气活塞，向下流过房间，带走污染物，然后将它们从地面排出。与外界新鲜空气混合后，再循环到HEPA过滤器。悬浮污染的人和过程是立即消除这种空气，而紊流通风系统使用混合和稀释原则。在个没有任何障碍的空房间里，单向流动可以在比前面提到的风速低得多的情况下迅速清除污染物。但在车间里，机器和在机器周围行走的人可能会成为空气流动的障碍。障碍物可以使单向流变成湍流，从而在障碍物周围形成气团。人类活动也可以把单向流动变成汹涌的流动。在这些湍流中，由于风速较低，空气被稀释得较少，导致污染浓度较高。因此，风速必须保持在0.3 m/s ~ 0.5 m/s (60 ft/min ~ 100 ft/min)的范围内，才能使中断的单向流迅速恢复，使障碍物周围湍流区的污染得到充分稀释。用风速可以正确显示单向流动，因为风速越高，房间越干净。每小时换气的次数与房间的容积有关，比如天花板的高度，所以不适合用单向流来表示。单向室输送的空气体积是湍流室的数倍(10到100倍)。